为了达到纳米级的定位精度，并考虑到压电式粘滑作动器能够达到极高的定位精度，研发了一种塔形压电式粘滑直线作动器。该作动器由塔形定子和动子构成，其中塔形定子由4片压电陶瓷与金属弹性体粘接构成，东子在预压力的作用下雨电子保持接触。当输入锯齿波激励信号时，塔形定子利用面内强迫弯曲振动来激发定子驱动足产生非对称切向振动，从而驱动动子正反向运动。在分析电机工作原理的基础上，制作了原理样机及其实验装置，然后进行了模态试验和机械特性试验。

    随着超精密加工与测量仪器、半导体技术、微装配和生物医学工程微操作机器人等现代高新技术的飞速发展，对直线驱动技术提出了许多新的要求，如大兴城、高速度和纳米级定位精度、功率密度大、无电磁干扰等。由于压电作动器在体积、精度、响应速度、输出力及功率密度等方面具有明显的综合优势，因此满足上述要求的关键是研发大行程、高速度和纳米级定位精度的压电直线作动器。

    众所周知，大行程、高速度与高定位精度是矛盾的，但是压电式粘滑作动器却能够兼顾这几方面的性能：它具有若干厘米以上的行程以及若干mm/s速度的同时，还具有小于5nm的超高定位精度；此外，它结构简单、紧凑并能够提供较高的运动刚度。因此，压电式粘滑作动器特别适用于诸如微操作之类的高技术领域。

    基于压电式粘滑作动器的优异性能以及在现代高新技术领域的广泛应用前景，我们研发了一种塔形压电式粘滑直线作动器。